AlN Thin Films Deposition on Glass Substrate by Radio Frequency Magnetron Sputtering

SATILMIŞ H., ÖZKAN M., Taktak Ş., Emrullahoğlu Ö. F., PAT S., ÖZEN S.

Science and Applications of Thin Films, Conference Exhibition, 15 - 19 Eylül 2014, ss.341

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Sayfa Sayıları: ss.341
  • Yozgat Bozok Üniversitesi Adresli: Evet